供應(yīng)深圳美信掃描探針顯微鏡/原子力顯微鏡(AFM)檢測(cè)
掃描探針顯微鏡，俗稱原子力顯微鏡(AFM),提供原子或接近原子分辨率的表面圖形，是測(cè)定埃尺度表面粗糙樣本的理想技術(shù)。除顯示表面圖像, AFM還可以提供特征尺寸定量測(cè)量， 例如步進(jìn)高度測(cè)量；其他樣本特性，如為確定載體和摻雜劑的分布和測(cè)量電容。
AFM應(yīng)用：
 三維表面結(jié)構(gòu)圖像，包含表面粗糙度、微粒尺寸、步進(jìn)高度、傾斜度
 加工前后晶圓上（二氧化硅、砷化鎵、鍺化硅等）評(píng)估
 測(cè)定接觸鏡片、導(dǎo)管、支架和其他生物醫(yī)藥表面的加工效果(如等離子處理)
 測(cè)定表面粗糙度對(duì)粘合和其他工藝的影響
 測(cè)定有圖案晶圓的溝壁形狀/潔凈度
 測(cè)定形態(tài)/結(jié)構(gòu)是否為表面幾何形狀的來源
AFM應(yīng)用優(yōu)點(diǎn)：
 量化表面粗糙程度
 高空間辨析率
 導(dǎo)體和絕緣體樣品的成像
AFM應(yīng)用局限性：
 掃描范圍限制：橫坐標(biāo)100微米，Z軸5微米
 樣品的潛在問題是太粗糙、樣品形狀古怪
 針頭可能引起的誤差 |
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